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公司基本資料信息
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產(chǎn)品詳細(xì)說明
產(chǎn)品描述
快速去除晶圓上之殘留光阻，達(dá)到晶圓表面潔凈，蝕刻率同業(yè)*高
產(chǎn)品特點(diǎn)
處理均勻性佳
離子能量低、不損傷基板
沒有電*及基板的污染
專利設(shè)計(jì)之特殊等離子電*
高密度等離子源
等離子效率高、清潔效率高
可控制低的離子能量
結(jié)合化學(xué)反應(yīng)性及物理撞擊性
處理速度快、清潔效率高、可靠度高
操作范圍廣
可使用多種制程氣體
全自動(dòng)且容易操作
設(shè)備穩(wěn)定高，容易維護(hù)
可依客戶需求作更改
更多»本企業(yè)其它產(chǎn)品
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