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產(chǎn)品詳細(xì)說(shuō)明
UC9 系列采用了 Wasco 的專(zhuān)有制造方法以及 Elgiloy? 隔膜。它提供超高純度和無(wú)與倫比的耐腐蝕性。其全焊接結(jié)構(gòu)消除了所有泄漏路徑。該系列是處理腐蝕性介質(zhì)的完美開(kāi)關(guān)，具有高精度和嚴(yán)格的公差。
我們?yōu)橄?代半導(dǎo)體加工設(shè)備中的高腐蝕性環(huán)境設(shè)計(jì)了這些開(kāi)關(guān)。UC9 系列的額定 95B2 應(yīng)用周期超過(guò) 2,000,000 次。UC9 系列提供滿足或超過(guò) SEMI F20 UHP 要求的材料選項(xiàng)。所有開(kāi)關(guān)均經(jīng)過(guò)氦氣泄漏測(cè)試，符合 SEMI F1 標(biāo)準(zhǔn) ≤ 1 x 10-9 標(biāo)準(zhǔn)cc/秒。
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