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產(chǎn)品詳細(xì)說明
Brooks Instrument電容壓力計XacTorr系列
大限度降低漂移和熱效應(yīng)。 大限度優(yōu)化真空處理結(jié)果
型號 CMX0 / CMX1 / CMX2 / CMX3
使真空依賴型工藝的效率和性能 大化：選擇布魯克斯儀器的 XacTorr® 系列數(shù)字式真空電容壓力計。XacTorr® 系列設(shè)備同時擁有各種業(yè)內(nèi) 的功能技術(shù)，可提升測量可靠性、 大限度減少漂移、耐隔膜污染并能夠使熱效應(yīng) 小化。
進(jìn)的 Mark-IV 傳感器提供不用于壓力測量的表面區(qū)域 – 可用于累積顆粒和可壓縮蒸汽。因此減少了儀表重新調(diào)零的工作、延長了傳感器壽命并且不會帶來傳感器漂移風(fēng)險。此外，還有快速響應(yīng)傳感器可供選擇，用于提供高 閉環(huán)控制性能。
結(jié)果：超精確、可重復(fù)并且**的真空度測量，可確保每次對倉室壓力進(jìn)行抽真空時都能夠準(zhǔn)確使其達(dá)到工藝所需的目標(biāo) Torr 值以實現(xiàn)潔凈、無污染生產(chǎn)。
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