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產(chǎn)品詳細(xì)說明
德國ERS 半自動熱拆鍵合MDM300/330
MDM300/330是專為研發(fā)實驗室和新技術(shù)試產(chǎn)期間的試生產(chǎn)線設(shè)計的 款半自動熱拆鍵合機。
ERS MDM300系統(tǒng)是 種用于半自動分離晶圓與載體（熱拆鍵合）的FOWLP技術(shù)。該機器通過釋放熱量將載體剝離。該系統(tǒng)可供，以保證熱拆鍵合后的晶圓質(zhì)量。
它提供半自動PLC控制，而且 多可存儲100多種配方。該機器具有較高的可重復(fù)操作性： 可以使用預(yù)設(shè)參數(shù)進行自動熱拆鍵合，然后手動脫膠， 后進入全自動翹曲矯正程序。
MDM300具有兩種操作模式：熱拆鍵合和翹曲調(diào)整以及獨立的翹曲矯正功能。
另外，我們還提供 些特殊的技術(shù)支持，例如在重新分布后，對易氧化的晶圓采用的無氧三溫滑動專利技術(shù)。
該工具專為研發(fā)實驗室和新技術(shù)試產(chǎn)期間的試生產(chǎn)線設(shè)計的。
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