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產(chǎn)品詳細(xì)說明
全自動(dòng) EUV 吊艙處理
ISO 2 微型環(huán)境
ESD 和 AMC 控制環(huán)境
每個(gè) pod 的 N2/xCDA 清除
吹掃流量驗(yàn)證
用于去除 AMC 化合物的高真空凈化室
現(xiàn)場測量能力
可以手動(dòng)備份
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